Вплив температурноi обробки на електрофiзичнi властивостi та фазовий склад двошарових плiвок на основi титану i алюмiнiю або нiклю

摘要

Дослiджено вплив температурноi обробки на питомий електричний опiр, температурний коефiцiент опору i фазовий склад двошарових плiвкових систем на основi Ti й Al та Ti й Ni, загальна товщина яких не перевищуe 100 нм. Показано, що вiдпалювання зразкiв при T_B = 800 К призводить до твердофазних реакцiй мiж Al i оксидом Ti (плiвки Ti/Al) та Ti й Ni (плiвки Ni/Ti), продуктами яких е TiAl_3 i Ni_3Ti (у зразках, вiдпалених до 900-1000 К, фiксуються фази NiTi i NiTi_2). Виявлено кореляцiю мiж фазовим складом i електрофiзичними властивостями двошарових плiвкових систем.