Выделение алмазоподобной пленки на поверхность никеля при ионной имплантации углерода с одновременным облучением электронами

摘要

Исследовалось одновременное облучение никеля ионами С+ с энергиями 10-30 кэВ и электронами с энергиями 1-5 кэВ при температурах мишеней 300-1000 °С. Обнаружен эффект выделения внедренных атомов углерода на поверхности образца и образования прозрачной углеродной пленки с преимущественной sр~3-гибридизацией. Пленка достигает толщины в несколько десятков нм. Образование пленок объясняется ускорением формирования углеродных структур при облучении ускоренными электронами.