60 GHz帯同軸構造背面給電シリコンチップ厚膜誘電体層上円偏波パッチアンテナ

摘要

60GHz帯シリコンCMOSチップのRF回路層の反対面上に厚い誘電体層を設けパッチアンテナを穴を介して給電する構造を提案する．厚い絶縁体層は放射効率を向上させる．またアンテナとRFフロントエンド間で接続損の低減が期待できる．5mm角シリコンチップ上に形成した厚さ200μmの誘電体層に設けたパッチアンテナの接続損の計算値は0.2dBであり，接続部を含めたアンテナの放射効率の計算値は76.4％である．小型反射箱を用いた放射効率測定システムを構築した実験で放射効率75.3％（測定系の不確かさ±3.4％）が得られた．