首页>
外文期刊>Датчики и системы
>МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОГРЕШНОСТИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ИЗОТРОПНОМ МОДЕЛИРОВАНИИ УПРУГИХ СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
【24h】
МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОГРЕШНОСТИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ИЗОТРОПНОМ МОДЕЛИРОВАНИИ УПРУГИХ СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Проведено исследование методической погрешности микромеханического датчика давления с вторичным емкостным измерительным преобразователем, возникающей из-за применения в конструкторских и метрологических расчетах изотропной модели упругих свойств монокристаллической мембраны. Получено решение уравнения Жермен-Лагранжа для круглых анизотропной и изотропной мембран, проведено сравнение значений их прогибов для обоих случаев. Проведенный анализ показал, что выходная погрешность измеряемой величины, соответствующей изотропному приближению, достигает 7% от измеряемого давления и вносит существенный вклад в общую погрешность датчика. Показано, что эта погрешность может быть легко скомпенсирована схемотехническими средствами.
展开▼