История развития коррозионных исследований в Институте физической химии РАН. Ч. XIII. Фторидный метод химического газофазного осаждения покрытий из вольфрама, его сплавов и соединений

摘要

Кратко изложена история развития фторидного метода низкотемпературного осаждения вольфрама, его сплавов и соединений в ИФХ АН СССР. Представлены основные этапы развития процесса осаждения. Обсуждены результаты изучения термодинамики, кинетики протекания процесса и роста осадков. Обсуждены результаты по осаждению твердых карбидовольфрамовых слоев из газовой фазы при низкой температуре подложки и возможные области применения покрытий из вольфрама, его сплавов с переходными металлами и карбидов.