МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОЧНОСТИ СЦЕПЛЕНИЯ СЕРЕБРЯНОГО ПОКРЫТИЯ С КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКОЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КЛЕЯ

摘要

Разработана методика определения прочности сцепления серебряного покрытия с кремниевой подложкой с целью определения качества контактных соединений в полупроводниковых элементах. Показано, что оптимальным вариантом является использование высокопрочного пленочного клея ВК-51 и специальной оснастки с молибденовыми термокомпенсаторами.