ナノテクノロジギーのための計測技術：高輝度放射光を使った材料評価

摘要

SPring-8など大型放射光施設の特徴は，高輝度X線が利用できることであり，それを使った利用技術の開発，そして物性や材料研究への応用が精力的に進められている．計測の観点から強調したいのは，X線の基本的性質は光である．したがって，光の特徴である干渉，回折，散乱，分光，撮像の分類にしたがって事例を紹介する．ただし，これら広範な分析·解析手法を詳細にわたって紹介することは，私の手に余るので，産業利用を推進する立場から蓄積された応用事例を紹介する．したがって，紹介される事例に偏りがあるが，ご容赦願いたい．