ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ СКРЫТЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ В ПЛЕНКАХ ХРОМА ПРИ СИНТЕЗЕ ПРЕЦИЗИОННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР

摘要

Проанализированы специфические источники погрешности формирования топологии углоизмерительных структур с помощью метода растрового сканирования на основе термохимической технологии записи скрытых изображений в пленках хрома. Установлена связь данного вида погрешностей с особенностями динамики нагрева пленок хрома лазерным излучением. Предложен и реализован алгоритм коррекции процесса записи структур, обеспечивающий точность синтеза углоизмерительных структур науровне единицугловых секунд.