半導体製造における圧力計：＜半導体製造装置に使用される圧力計の種類と特徴＞

摘要

近年の半導体素子の低コスト高性能化により、身の回りは半導体利用製品であふれる時代となった。 半導体製造においては、毒性、爆発性、腐食性を有する活性なガス、または可燃性、窒息性を有するガスを使用しており、これらを安全に供給するためには圧力の計測が必要不可欠であり、そこに使用される圧力討には、従来より●外部リークフリー●パーティクルフリー●デッドゾーンフリー●アウトガスフリー。 という性能が求められてきた。 しかし、半導体素子には更なる低コスト高性能化が要求され、それを実現するための、300mmウエハー半導体製造ラインの構築も活発化してきている。 その設備投資は巨額なものとなり、装置に対する信頼性、安全性、性能、低コスト化の要求も厳しくなっている。