極限の分解能を実現するTEMおよびSTEM

摘要

透過型電子顕微鏡(TEM)と走査透過型電子顕微鏡(STEM)では近年，収差補正と言う革新的な技術が実現している．この技術により分解能が飛躍的に向上した．また，収差補正により，プローブ電流を従来に比べて10倍以上に向上することができ，原子分解能での分析という究極の局所分析が可能となった．