薬液濃度計：各種薬液をリアルタイムに連続濃度測定

摘要

各種薬液の濃度管理は薬液を使っている各社それぞれの手法において管理しているが、半導体業界をはじめとして各業界で多用されている各種薬液の濃度管理は、多くが手分析やサンプル分析などの間欠測定が多い。 しかしながら製品の品質向上や精度·歩留まり向上においては薬液濃度の連続リアルタイム測定が要求される場面が増加傾向にあり、簡単且つ安価に薬液濃度測定が可能な計測器の要求が高まっている。 そこで今般、簡単で安価及び高精度な分析機器として薬液濃度計を紹介する。 測定原理上すべての薬液に対応することは出来ないがフッ酸·硝酸·硫酸·アンモニア溶液をはじめとして多くの薬品に対応することが可能である。但し、以下に述べる測定特性上0～100％濃度において測定できない部分があるので注意が必要である。