原子テクノロジーの源流 第13章 RHEED励起X線全反射角分光法の開発と応用－2－新しい表面元素深さ分布測定法

摘要

本章では電子線の視射角θを変えた場合の様々な実験結果について紹介する．この研究は主に井野研の学生の山中俊朗君（後に北大助手）が行った．θを変えて放射X線の強度を測定すると表面における「新しい表面元素深さ分析法」となることが発見された．この方法により，Si（111）上に2種の金属を2段階蒸着した場合における表面元素の深さ分布を解析した．その結果，様々な新しい成長モードが発見され，エピタクシー研究が新しい段階に発展した．本章ではこれらの展開の過程の説明を行う．