低温排熱利用気化式加湿型空調機（エコウェット）

摘要

半導体やフラットパネルディスプレー（以下FPD）の生産を行うクリーンルーム（以下CR）では，精密な温湿度制御が求められ，外気を処理する空調機は，その出口空気の絶対湿度を一定に保つ必要がある。 従来，精密な加湿方式としては，蒸気噴霧が一般的であるが，その消費エネルギーは大きく，これに起因する二酸化炭素の排出量も大きい。 エコウェットは，低温排熱を利用できる気化式加湿器を組み込んだ空調機であり，従来不可能とされていた気化式加湿による加湿量比例制御と，より低温（たとえば30 deg C）の排熱利用が可能である。図－1にシステム図を示す。例として，長野県における室内温湿度24 deg C，50％のFPD工場の場合，従来の蒸気式加湿型空調機に対して，消費エネルギー57％，二酸化炭素排出量53％，ランニングコスト53％の削減となり，導入費用に対しても0.73年で償却可能である。