酸化亜鉛膜を量産可能な成膜装置を開発－希少金属不要、EL照明、太陽電池パネルなどへの採用を提案－

摘要

不二越はヘンミ計算尺と共同で、透明導電膜用に酸化亜鉛（ZnO）膜の量産を可能にする成膜装置「ZTOPS（ズイートップス）」を開発し、受注を始めた。特殊な熱処理が不要な成膜方式を採用。電気伝導度（比抵抗）は3×10~(-4)Ωcmで、透明導電膜材料で現在主流のインジウム·スズ酸化物（ITO）の代替が可能な性能を実現した。希少金属のインジウムを使わずに透明導電膜をつくれる。有機エレクトロ·ルミネッセンス（EL）照明や対応電池のパネルヘの採用を提案する。開発品は対応基板サイズが最大200×200mmと、同300×400mmの2種類。価格は5，000万~1億円、2011年度に売上高10億円、13年度に同30億円を目指す。