北海道大学微細加工プラットフォーム－異分野融合へのナノ·マイクロ微細加工－

摘要

北海道大学（北大）微細加工プラットフォーム（PF）は、前身事業であるナノテクノロジーネットワークで開放していた電子科学研究所のクリーンルームに加え、情報科学研究科が所有するクリーンルームの開放を行い、学内2カ所にて北海道地区を中心とした全国への微細加工研究支援を行っている。事業全体のとりまとめは全学組織の創成研究機構に設置したナノテクノロジー連携研究推進室（北海道大学北キャンパスエリア·創成科学研究棟内）である。