環境配慮型高輝度放電ランプを実現する放電電極用トリアフリー材

摘要

LSIや液晶の露光装置及び樹脂硬化装置用の高輝度放電（HID）ランプなどの放電電極には，熱電子放出特性に優れたタングステンー酸化トリウム（W-ThO_2）陰極が用いられている。しかしThO_2は放射性物質であるため，近年，その使用や輸送に関する規制が強化されつづあり，ランプメーカーからはThO_2を用いない（トリアフリー）代替材料の開発が求められている。東芝マテリアル（株）は，このような市場ニーズに応えて，放電電極に必要とされる高融点，高沸点，及び低仕事関数の合金を作製し，W-ThO_2と同等の特性を持つ放電電極用トリアフリー材を開発した。環境配慮型材料として早期の実用化へ向け，現在ランプに組み込んだ状態でのフィールドテストを進めている。