Исследование зависимости микротвердости и фазового состава (покрытия ТiN от расположения деталей в вакуумной камере при осаждении из плазмы вакуумно-дугового разряда

摘要

Исследованы зависимости микротвердости и фазового состава покрытия TiN от расположения деталей в вакуумной камере при осаждении из плазмы вакуумно-дугового разряда. Приведены результаты рентгенострук-турного анализа, а также рассмотрены закономерности влияния области расположения образцов в вакуумной камере на толщину покрытия.