Ионное легирование поверхности изделий машиностроения в высокочастотном газовом разряде

摘要

Представлены результаты исследований ионного легирования сталей в высокочастотном газовом разряде пониженного давления. Проведено сравнение рассматриваемого метода с другими технологиями упрочнения. Представлена технологическая и аналитическая база для проведения процесса плазменного упрочнения поверхностных слоев изделий.