Fe－Si合金表面における酸化現象の解析

摘要

e-Si合金の酸化挙動は雰囲気の酸素ポテンシャルによって非常に強く影響される。X線回折法,オージェ電子分光乱X線光電子分光法，グロー放電発光分析法および透過型電子顕微鏡を用いて,Fe－3mass％S捨金上に生成する酸化物の同定を行った。850℃において露点を変化させた75％H_2－25％N_2雰囲気中で試料を酸化した。Fe－S冶金のマクロ的な酸化現象は－熱力学的な予測と極めて良く一致する。雰囲気の酸素ポテンシャルが大きい場合は1内部酸化に伴って試料表面は凹凸となり一読料の表層にFe層が形成する。酸化初期段掛こおいて試料表面に膜状の外部酸化SiO_2が形成すると，その領域における以後の内部酸化は抑制され，面内で不均一な内部酸化挙動となる。