Модернизация и автоматизация промышленного вакуумного оборудования для получения многофункциональных пленок с заданными структурой и свойствами

摘要

В научном центре 《Порошкового материаловедения》 ГОУ ВПО ПГТУ модернизирована и автоматизирована промышленная вакуумная установка электродугового испарения УРМ 3.279.048 путем дополнительного размещения в вакуумную камеру четырех магнетронов и резистивного нагревателя; усовершенствования существующих источников высокого и опорного напряжения (смещения) на подложке, конструкции подложкодержателя.