Автоматизированная измерительная система для трехмерного анализа и контроля топографии поверхности в нанодиапазоне

摘要

Представлена автоматизированная измерительная система для высокоточного трехмерного анализа топографии поверхности в нанодиапазоне.Измерительная система базируется на метрологическом атомном силовом микроскопе, оснащенном модифицированным измерительным столиком с расширенным диапазоном горизонтальных перемещений. В системе реализован количественный трехмерный анализ текстуры поверхности в соответствии с международным стандартом ISO 25178-2:2012.