磁性薄膜の透磁率テンソル評価法の検討

摘要

磁性薄膜を用いたデバイス設計を精度良く実施するために、透磁率テンソルの測定を検討している。 従来技術には、TEMセルとシールディッドループによりGHz帯まで精度良く評価可能な測定系があり、広く用いられている。本報告ではマイクロストリップライン(MSL)とベアループからなる評価系を試作して、透磁率テンソルの全成分を測定したので報告する。