時間遅れフィードバック制御の非接触型原子間力顕微鏡への応用

摘要

近年，非接触型原子間力顕微鏡におけるマイクロカンチレバーに，探針点画間相互作用の非線形他に基づくカオス的振動が生じることが明らかにされた。それを受け，本報告では，マイクロカンチレバーの振動制御手法として時間遅れフィードバック制御を用いることを提案する。 不安定周期軌道の安定化による動作領域の拡張ならびに過渡特性の改善によるスキャン速度向上の可能性を数値的に検討する．