DLC膜の分類と標準化

摘要

現在，DLCといわれているアモルファス炭素膜中のダイヤモンド結合成分は20～90％と幅広く，さらに水素を0-50atm.％含むので，一言でDLCと言ってもその物性は千差万別である。故に適材適所のDLC産業利用のためには，DLCを材料として定義し，明確に分類·標準化することが急務である。