産総研、ミリ波帯で優れた伝送特性を持つ高周波伝送路を開発、ミリ波帯デバイスの高精度な性能評価を安価に実現

摘要

産業技術総合研究所の研究グループは、印刷技術を利用して、100GHzを超えるミリ波帯で優れた伝送特性を示す高周波伝送路（コプレーナ導波路）を開発した。導電率が高い銀ナノ粒子インクを用いた印刷技術によって、導体の導電率が高く寸法精度の良いコプレーナ導波路を作製した。この導波路は、100GHzを超える高周波帯域まで低損失特性を示し、特に60GHz以上では、従来のコプレーナ導波路の約半分の伝送損失であった。また、繰り返し使用による特性劣化も小さいことから、ミリ波帯デバイスの電気的な性能を評価する「標準伝送路」として利用できる。さらに、一度に多くのパターン形成が可能なスクリーン印刷技術の活用により、導電膜形成、露光およびエッチングによる従来の作製法に比べて作製時間は従来の従来比20分の1以下の1時間、作製費は10分の1以下の約6000円と短時間で低コストプロセスを実現した。