コベルコ科研、FPD向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発·本格販売開始

摘要

コベルコ科研（神戸製鋼の100％出資子会社:以下コベルコ科研）はこのほど、フラットパネルディスプレイ（以下FPD）の薄膜トランジスタ（TFT）に用いられる酸化物半導体の特性を評価することが可能な差動マイクロPCD装置を開発した。