キヤビラリ一電気泳動による機能性分子ドーピングリソグラフィと分子配向性制御

摘要

機能性素子の小型化·集積化が求められるなか，種々の材料を複合化させた素子の開発が進められている。有機·無機ハイプリッド材料をプラッ卜フォームとした機能性素子の集積化もその有力なものの一つであり，その有機/無機両面への高い親和性が多様な性質の発現を可能にする。ドーピング技術は高機能化·集積化には不可欠であるが，有機·無機ハイブリッド材料に対する機能性分子ゃィオンを部分的にド一プする技術はこれまで開発されていなかった。