ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ГРАДИЕНТА КОНЦЕНТРАЦИЙ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ МЕТОДОМ РЕШТЕНОШЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА С ПЕРЕМЕННЫМ УГЛОМ СКОЛЬЖЕ

摘要

Исследовано влияние различных факторов на чувствительность к градиенту концентрации метода рентгеноопектрального анализа с угловым сканированием при возбуждении излучения рентгеновскими фотонами и ускоренными ионами. Установлено, что для определенного сочетания энергии первичного излучения и абсорбционных параметров образце существует интервал изменения углов входа и отбора излучения, в котором чувствительность к градиенту концентрации максимальна. Показано также, что влияние градиента концентрации определяемого элемента на интенсивность аналитической линии возрастает при уменьшении общего содержания элемента в анализируемом слое. Определены условия, обеспечивающиемаксимальную чувствительность к градиенту концентраций для рентгеноспектрального анализа с переменным углом скольжения первичного пучка рентгеновских фотонов или ускоренных ионов.