...
机译:三种胍盐对新型低磨擦碱性CMP浆料的性能的影响
guanidinium; removal rate selectivity; electrochemical; CMP;
机译:三种胍盐对新型低磨擦碱性CMP浆料的性能的影响
机译:专为铜和阻挡层CMP开发的不含BTA的碱性浆料
机译:具有新型弱碱性螯合剂的下一代阻隔CMP浆料
机译:制造平台上用于铜阻挡层CMP的弱碱性浆料的研究
机译:钽的CMP,并通过建模了解磨料在阻隔浆料中的作用。
机译:使用光密度法和折射率测量表征CMP浆料
机译:胍盐水溶液研究。 XIII。 NMR研究胍盐和四烷基铵盐在水中的相互作用