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机译:用于纳米电子和大面积电子设备的硅烷等离子体中硅纳米晶体的合成
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机译:非热等离子体合成生产硅纳米晶:四氯化硅与硅烷前体的比较研究
机译:用于纳米电子学和发光应用的半导体纳米晶体的等离子体合成
机译:等离子体化学蚀刻法将氯中的硅蚀刻成包含等离子体的离子,用于纳米电子学
机译:纳米电子设备以及对基于纳米晶体的光电学和具有固态纳米孔的DNA测序的测量。
机译:使用多层推挽式等离子体源的VHF(162 MHz)-PECVD用于柔性有机电子设备的氮化硅沉积
机译:硅纳米线基纳米电子器件的设计,仿真和制造
机译:非平衡等离子体射流中硅烷和硅的合成。 1978年2月1日至4月30日的第七季度报告