Ionisation und Feldstarkenmessung in der Qualitatssicherung der Halbleiterund Elektronikfertigung

摘要

In einem neutralen Korper ist das Verhaltnis von positiver und negativer Ladungen ausgeglichen. Durch die Reibung zweier zuerst neutraler Korper aus gleichen oder unterschiedlichen Materialien kann eine Veranderung der Ladungskonzentration an der Oberflache beider Korper bewirkt werden. Elektrostatische Aufladungen sind elektrische Ladungen, die durch mechanische Trennung gleichartiger oder verschiedenartiger Materialien entstehen oder infolge von Influenz auf leitfahigen Korpern auftreten.