大型試料対応S-3600Nの紹介

摘要

走査形電子顕微鏡(以下SEM)は,半導体,バイオ,新素材などのナノテクノロジー分野において,表面観察,分析のツールとして,不可欠なものとなっている。 特に汎用SEMは低価格で操作性も良いので広い分野で用いられており,試料の形状や大きさは多様である。 近年,国内では主に材料分野から,欧米では自動車関連の部品メーカから,大型試料を非破壊で観察したいという要求が増えている。 このニーズに対応するため,観察可能な試料サイズと試料可動範囲および搭載試料質量を競合メーカ中最大(2002年8月現在)とした試料ステージを備えたS-3600N形SEMを開発した。