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机译:凸起测试和AFM点偏转方法,这两种用于表征非常低刚度的独立膜的机械技术
Bulge test; dielectric membranes; residual stress;
机译:凸起测试和AFM点偏转方法,这两种用于表征非常低刚度的独立膜的机械技术
机译:力校准的AFM用于独立薄膜的机械测试
机译:通过凸出试验研究独立式和SiN_x支撑的金薄膜随时间的变形行为
机译:亚微米厚复合膜机械表征凸起和点挠度方法的比较
机译:凸出测试在测量薄膜的机械性能中的用途。
机译:聚焦离子束引起的独立薄膜的偏转
机译:凸起测试和AFM点偏转方法,两种技术用于非常低刚度独立薄膜的机械表征
机译:多层薄膜增强模量的凸起试验测量的挠度效应