Ein modifiziertes Bath-Interferometer zur Profilmessung von Mikrostrukturen

摘要

Im vorliegenden Artikel wird ein robustes Common-Path-Interferometer auf der Basis eines Interferometers nach Bath und Gates vorgestellt. Ein lateral positionierbarer Strahlteilerwurfel erlaubt in diesem Aufbau das Scannen einer Pruflingsoberflache durch die Variation des Abstandes zwischen Referenz- und Messstrahl. Daher kann auf eine aktive Positionierung des Pruflings bei der Vermessung von Profilschnitten verzichtet werden. Der messbare Tiefenbereich sowie die minimale messbare Mikrostrukturgrosse sind durch den Wechsel der verwendeten Fokussieroptik einstellbar.