Schlagw#rter: CVD- und PVD-Beschichtungen, D#nne Schichten, IR-Radiometrie, Optische Eigen-schaften, Plasma-gespritzte Schichten, Reibungs-verschleiβ, Schichtdicke, Thermische Eigenschaf-ten, Thermische Wellen Reale technische Schichtsysteme und Oberfl#chen, wie CVD- und PVD- Filme und plasmagespritzte Be-schichtungen werden mittels IR-Radiometrie thermi-scher Wellen in Bezug auf die Tiefenprofilierung ihrer thermeschen Eigenschaften untersucht. Obwohl solche systeme, bedingt durch Oberfl#chenrauheit, Reibungs-verschleiβ und leichte Transparenz im sichtbaren wie im infraroten Spektralbereich, erheblich vom idealen Zwei-oder Dreischichtenmodeli des Festk#rpers mit glatter und opaker Oberfl#che abweichen, k#nnen aus den Messungen wertvolle Informationen über die ther-mischen und optischen Eigenschafien und den Zustand der Oberfl#chen gewonnen werden. Der besondere vorleil ist dabei ,daβ die IR-Radiometrie im industriel-len Umfeld eingesetzt werden kann, absolut kontaktlos arbeitet, ohne besondere Probenvorbereitung und über gr#βere Entfernungen hinweg. Thermal wave Characterization of Technical Layer systems Based on IR Detection Real technical layer systems, such as CVD and PVD films and plasma sprayed coatings have been attalysed with respect to the depth profile of their thermal p;w-perties, by using IR detection of thermal waves. Owing to surface roughness and friction wear, and due to the fact that such layers are slightly translucent both in the visible and in the infrared, the ;neasured data considerably deviate from the results expected for a re, o- or three-layer solid with smooth and opaque surface Nevertheless, useful information about the thermal and optical properties and the surfaces of technical layer systems can be obtained. The advantage of iR detection of thermal waves is that this method is most appropriate for remote sensing under industrial conditions,working absolutely contactless ami without am' sample preparation.
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