Beschichtungen fur kleine und kleinste Werkzeuge: Ultradunn und extrem glatt

摘要

Der Bedarf an immer kleineren Bauteilen stellt gleichzeitig hohe Anforderungen an die Werkzeuge. Die Konsequenz: Auch Beschichtungen mussen sich an diesen Entwicklungen messen lassen und mit minimalen Schichtdicken herausragende Eigenschaften verbinden.