Fili d'oro sottili per interconnessioni elettriche di circuiti integrati

摘要

I fili di alluminio sono generalmente utilizzati quando le correnti elettriche in gioco sono elevate: all'aumentare del diametro del filo aumenta l'intensita corrente elettrica che lo puo attraversare senza portarlo a fusione (circa 40 Ampere per un filo di mezzo millimetro di diametro). Il loro costo e decisamente inferiore ma l'affidabilita non e buona per filisottili (2-3 mil) e quindi, di fatto, vengono utilizzati con diametri superiori ai 5-7 mil. Siccome l'alluminio puro e troppo morbido per essere trafilato in fili sottili, un elemento di lega (silicio, intorno a 1 percent) e comunemente uti-lizzato per ottenere le caratteristiche meccaniche desiderate. Purtroppo il riscaldamento del filo durante il funzionamento del chip (la temperatura di quest'ultimo puo avvicinarsi ai 200 deg C!) determina una segregazione dei grani di silicio che agiscono come intensificatori degli stress, riducendo la resistenza a fatica con la conseguente possibilita di rottura del filo stesso. Il problema si risolve sottoponendo il filo a un trattamento termico di ricottura parziale che consente una dispersione uniforme del silicio nella matrice di alluminio, precedentemente alla trafilatura di riduzione a piccoli diametri.