微细加工技术2001年第2期封面封底目录

期刊介绍

《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。

著录项

  • 来源
    《微细加工技术》|2001年第2期
  • 主编

    伍三忠

  • 主管单位

    信息产业部

  • 主办单位

    中国电子科技集团公司第48研究所;

  • 期刊栏目

    综述;电子束技术;离子束技术;光子束技术;薄膜技术;微机械加工技术;纳米技术

  • 原文格式 JPG压缩包
  • 正文语种 CHI
  • 国内刊号 43-1140/TN
微细加工技术
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