【摘要】在DUV CAR抗蚀剂中，脱保护反应和溶解行为取决于保护基团的体积和活化能。这些因素都会影响抗蚀剂性能（分辨率，焦点和曝光宽容度，线宽粗糙度）。为了进一步了解这种行为，我们研究了与抗蚀剂的膨松度，保护基团的活化能相关的抗蚀剂溶解参数，并通过光刻评估证实了它们对抗蚀剂性能的影响。我们将详细报道并讨论每个保护基的结构和化学性质对抗蚀剂溶解行为的影响。
【期刊名称】
【会议名称】
Advances in Resist Technology and Processing XXIII pt.2
【会议地点】San JoseCA(US)
【作者】Kwanghwyi Im；Jin Jegal；Jungkook Park；Deogbae Kim；Jaehyun Kim；
【作者单位】Electronic Material Division, Dongjin Semichem Inc., Ltd., 625-3, Yodang-Ri, Yanggam-Myun, Hwasung-City, Kyungki-Do, Korea, 445-930;
【授予单位】
【学科】
【学位】
【授予单位】Electronic Material Division, Dongjin Semichem Inc., Ltd., 625-3, Yodang-Ri, Yanggam-Myun, Hwasung-City, Kyungki-Do, Korea, 445-930;
【学科】
【授予学位】
【导师姓名】
【发表时间】
【会议组织】
【会议召开年】2006
【年(卷),期】2006(),
【年度】2006
【页码】P.61533Q.1-61533Q.11
【总页数】11
【原文格式】PDF
【正文语种】eng
【中图分类】TN304;
【关键词】化学放大抗蚀剂；溶解行为；脱保护反应；大体积；活化能；
