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【摘要】微聚焦广泛应用于软和硬X射线波长。除波带片外，一种典型的方法是将切线和弧矢方向的聚焦分为两个椭圆形的圆柱形反射元件，即所谓的Kirkpatrick-Baez（KB）对。在最简单的情况下，每个光学器件都是通过对平面进行研磨和抛光，然后在两端分别施加不相等的弯曲力来制成的。在简要回顾了弯曲的性质之后，我们展示了使用我们的表面法线斜率测量仪器长轨迹轮廓仪（LTP）最佳调整这些镜系统的两种新方法。首先，我们采用以前用于调整同步加速器辐射束线上的反射镜的方法。我们在对每个弯曲对进行一次小的调整之前和之后测量表面的斜率。这样可以近似估计斜率对调整的函数依赖性，并且可以通过应用简单矩阵计算的结果将调整直接调整到接近最终的设置。通常，问题的接近线性决定了调整过程的快速收敛。其次，我们将来自LTP的坡度数据细分为镜子上的三个区域，并通过回归将一个圆拟合到每个子区域。这种方法还可以快速迭代地调整两个弯曲对。我们证明了这种方法是第一种方法的特殊情况。作为预测性能的总体指标，我们使用探查器数据进行光线跟踪，以预测在使用系统期间预期的确切光学性能。
【作者】Wayne R. McKinney；Steven C. Irick；Jonathan L. Kirschman；Alastair A. MacDowell；Tony Warwick；Valeriy V. Yashchuk；
【作者单位】Lawrence Berkeley Laboratory, Mailstop 2R0400, One Cyclotron Rd., Berkeley, CA 94720-8199;
【年(卷),期】2007(),
【年度】2007
【页码】P.15.1-15.12
【总页数】12
【原文格式】PDF
【正文语种】eng
【中图分类】TH741;
