【24h】高强度飞秒脉冲暴露的电介质的各向异性蚀刻

【摘要】暴露于飞秒脉冲后，晶体和玻璃材料的后处理是通过在氢氟酸水溶液中进行湿蚀刻来进行的。晶体蓝宝石和石英显示出很高的蚀刻各向异性（大于100），这使这些电介质的体积可以形成高纵横比的三维结构。在硅酸盐玻璃中，可以通过在记录，能量和聚焦过程中适当选择相邻脉冲的重叠来实现湿法蚀刻的各向异性。实现了高纵横比为100的石英玻璃（OH浓度低于1200 ppm的viosil）的三维结构。讨论了湿法刻蚀中的各向异性机理。蓝宝石在接近于表面烧蚀的辐照下的表面辐照记录了类似于波纹的结构修饰。仅在湿蚀刻之后才观察到那些结构。波纹的周期可以由最近提出的理论来解释（Y.Shimotsuma等人，Phys.Rev.Lett.91 247405-1（2003））。说明了表面的亚微米结构。可以根据脉动的周期估算结构记录时的电子温度（对于蓝宝石，T_e约为11 keV）。

【期刊名称】

【会议名称】 Advanced Laser Technologies 2004

【会议地点】Rome and Frascati(IT)

【作者】Saulius Juodkazis；Yuusuke Tabuchi；Takahiro Ebisui；Shigeki Matsuo；Hiroaki Misawa；

【作者单位】CREST-JST Research Institute for Electronic Science, Hokkaido University, CRIS Bldg., North 21 West 10, Sapporo 001-0021, Japan;

【授予单位】

【学科】

【学位】

【授予单位】CREST-JST Research Institute for Electronic Science, Hokkaido University, CRIS Bldg., North 21 West 10, Sapporo 001-0021, Japan;

【学科】

【授予学位】

【导师姓名】

【发表时间】

【会议组织】

【会议召开年】2004

【年(卷),期】2004(),

【年度】2004

【页码】P.59-66

【总页数】8

【原文格式】PDF

【正文语种】eng

【中图分类】TN24;

【关键词】各向异性湿法刻蚀；飞秒激光微加工；波纹形成；微流控；