首页>外文会议>其他>International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual

International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual

召开年：
召开地：
出版时间：-

会议文集：-

会议论文

热门论文

全部论文

全选（0）

1.Performance of hydrothermal PZT film on high intensity operation

机译：高强度运转水热PZT薄膜的性能
- 作者：Minoru Kuribayashi Kurosawa;Hidehiko Yasui;Takefumi Kanda;Toshiro Higuchi
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
2.Advanced hybrid integrated low-power telemetric pressure monitoring system for biomedical applications

机译：用于生物医学应用的先进的混合集成低功耗遥测压力监测系统
- 作者：T. Eggers;C. Marschner;U. Marschner;B. Clasbrummel;R. Laur;J. Binder
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
3.Electrical isolation process for molded, high-aspect-ration polysilicon microstructures

机译：模塑，高纵横比聚硅微结构的电气隔离工艺
- 作者：Lilac Muller;John M. Heck;Roger T. Howe;Albert P. Pisano
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
4.Deep reactive ion etching of Pyrex glass

机译：Pyrex玻璃的深反应离子蚀刻
- 作者：Xinghua Li;Takashi Abe;Masayoshi Esashi
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
5.Pressure, flow and oxygen saturation sensors on one chip for use in catheters

机译：一种芯片的压力，流量和氧饱和传感器以用于导管
- 作者：J. F. L. Goosen;P. J. French;P. M. Sarro
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
6.Surface micromachined bridge configurations for accurate angle measurements

机译：用于精确角度测量的表面微机桥配置
- 作者：Jorg R. Kaienburg;Michael Huonker;Ralf Schellin
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
7.Stretched-film micromirrors for improved optical flatness

机译：拉伸薄膜微镜，用于改进光学平整度
- 作者：Jocelyn T. Nee;Robert A. Conant;Matthew R. Hart;Richard S. Muller;Kam Y. Lau
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
8.An air-to-liquid MEMS particle sampler

机译：空对液体MEMS颗粒取样器
- 作者：Amish Desai;Sang-Wook Lee;Yu-Chong Tai
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
9.Self aligned vertical mirrors and V-grooves applied to a self-latching matrix switch for optical networks

机译：自对准的垂直镜和V形槽应用于用于光网络的自锁定矩阵开关
- 作者：Philippe Helin;Makoto Mita;Hiroyuki Fujita
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
10.A novel fabrication method for 3-D microstructures using surface-activated bonding of thin films

机译：一种新型制造方法，其使用薄膜表面活性粘合的三维微结构
- 作者：Takayuki Yamada;Mutsuya Takahashi
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
11.Dominated energy dissipation in ultrathin single crystal silicon cantilever: surface loss

机译：超薄单晶硅悬臂中的耗能耗散：表面损失
- 作者：Jinling Yang;Takahito Ono;Masayoshi Esashi
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
12.A new deep reactive ion etching process by dual sidewall protection layer

机译：双侧壁保护层的新型深度反应离子蚀刻工艺
- 作者：Junji Ohara;Kazuhiko Kano;Yukihiro Takeuchi;Nobuyuki Ohya;Yoshinori Otsuka;Shigeyuki Akita
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
13.An audio frequency filter application of micromachined thermally-isolated diaphragm structures

机译：微机械的热分离隔膜结构的音频滤波器应用
- 作者：Kwang-Hyun Lee;Hee-Jin Byun;Hyung-Kew Lee;Il-Joo Cho;Jong-Uk Bu;Euisik Yoon
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
14.A micro-flight mechanism with rotational wings

机译：具有旋转翼的微型飞行机制
- 作者：Norihisa Miki;Isao Shimoyama
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
15.Contamination insensitive differential capacitive pressure sensors

机译：污染不敏感差动电容式压力传感器
- 作者：C. C. Wang;B. P. Gogoi;D. J. Monk;C. H. Mastrangelo
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
16.Damping of micro electrostatic torsion mirror caused by air-film viscosity

机译：空气膜粘度引起的微静电扭转镜阻尼
- 作者：Norio Uchida;Kiyotaka Uchimaru;Minoru Yonezawa;Masayuki Sekimura
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
17.Silicon carbide micro-reaction-sintering using a multilayer silicon mold

机译：使用多层硅模具碳化硅微反应烧结
- 作者：Shinya Sugimoto;Shuji Tanaka;Jing-Feng Li;Ryuzo Watanabe;Masayoshi Esashi
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
18.Profile measurement of high aspect ration micro structures using a tungsten carbide micro cantilever coated with PZT thin films

机译：使用PZT薄膜涂覆碳化钨微悬臂的高宽高级微结构的轮廓测量
- 作者：Masaki Yamamoto;Isaku Kanno;Shinichiro Aoki
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
19.A high pressure-resistance micropump using active and normally-closed valves

机译：使用主动和常闭阀的高压电阻微型泵
- 作者：Jun Shinohara;Masayuki Suda;Kazuyoshi Furuta;Toshihiko Sakuhara
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
20.A normally closed in-channel micro check valve

机译：常闭的通道内微止回阀
- 作者：Xuan-Qi Wang;Yu-Chong Tai
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
21.Glass-to-glass anodic bonding for high vacuum packaging of microelectronics and its stability

机译：用于高真空包装的微电子和稳定性玻璃阳极键合
- 作者：Duck-Jung Lee;Byeong-Kwon Ju;Yun-Hi Lee;Jin Jang;Myung-Hwan Oh
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
22.TOPSPOT - a new method for the fabrication of microarrays

机译：TopSpot - 制造微阵列的新方法
- 作者：Jens Ducree;Holger Gruhler;Nicolaus Hey;Martin Muller;Stefan Bekesi;Michael Freygang;Hermann Sandmaier;Roland Zengerle
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
23.Void-free full wafer adhesive bonding

机译：无效的全晶圆粘合剂粘合
- 作者：Frank Niklasu;Peter Enoksson;Edvard Kalvesten;Goran Stemme
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
24.Monolithic integrated surface micromachined pressure sensors with analog on-chip linearization and temperature compensation

机译：具有模拟片上线性化和温度补偿的单片集成表面微机械压力传感器
- 作者：H. K. Trieu;M. Knier;O. Koster;H. Kappert;M. Schmidt;W. Mokwa
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
25.A wafer-integrated array of micromachined electrostatically-driven ultrasonic resonators for microfluidic applications

机译：用于微流体应用的晶片集成的微机械静电超声谐振器阵列
- 作者：B. A. Parviz;T. K. Chou;C. Zhang;K. Najafi;M. O. Muller;L. P. Bernal;P. Washabaugh
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
26.Novel acoustic-wave micromixer

机译：新型声波微混合器
- 作者：Vibhu Vivek;Yi Zeng;Eun Sok Kim
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
27.A low temperature biochemically compatible bonding technique using fluoropolymers for biochemical microfluidic systems

机译：利用生物化学微流体系统含氟聚合物的低温生物化学粘接技术
- 作者：Arum Han;Kwang W. Oh;Shekhar Bhansali;H. Thurman Henderson;Chong H. Ahn
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
28.A new class of thermal flow sensors using △T=0 as a control signal

机译：使用△T= 0作为控制信号的新一类热流传感器
- 作者：T. S. J. Lammerink;N. R. Tas;G. J. M. Krijnen;M. Elwenspoek
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
- Anemometry;
- Thermal flow sensor;
29.A new polycrystalline silicon technology for integrated sensor applications

机译：一种用于集成传感器应用的新型多晶硅技术
- 作者：Mingxiang Wang;Zhiguo Meng;Yitshak Zohar;Man Wong
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
30.Mass flowmeter using a multi-sensor chip

机译：使用多传感器芯片的质量流量计
- 作者：Yong Xu;Chen-Wei Chiu;Fukang Jiang;Qiao Lin;Yu-Chong Tai
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
31.Micromachined dispenser with high flow rate and high resolution

机译：流量高流速和高分辨率的微机械分配器
- 作者：Akira Koide;Yasuhiko Sasaki;Yasuhiro Yoshimura;Ryo Miyake;Takao Terayama
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
32.Ink jet fabricated nanoparticle MEMS

机译：喷墨制造纳米粒子MEMS
- 作者：Sawyer Fuller;Joseph Jacobson
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
33.Flexible shear stress sensor skin for aerodynamics applications

机译：用于空气动力学应用的柔性剪切应力传感器皮肤
- 作者：Fukang Jiang;Yong Xu;Tianxiang Weng;Zhigang Han;Yu-Chong Tai;Adam Huang;Chih-Ming Ho;Scott Newbern
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
34.PZT actuated micromirror for nano-tracking of laser beam for high-density optical data storage

机译：PZT驱动微镜用于高密度光学数据存储的激光束纳米跟踪
- 作者：Youngjoo Yee;Hyo-Jin Nam;See-Hyung Lee;Jong Uk Bu;Young-Sam Jeon;Seong-Moon Cho
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
35.Characterization of Bi-directionally oscillating dynamic flow and frequency-dependent rectification performance of microdiffusers

机译：微型管道双向振荡动态流动和频率依赖性整流性能的表征
- 作者：Young-Ho Lee;Tae Goo Kang;Young-Ho Cho
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
36.Frequency response of TiNi shape memory alloy thin film micro-actuators

机译：TINI形状记忆合金薄膜微致动器的频率响应
- 作者：C. C. Ma;R. Wang;Q. P. Sun;Y. Zohar;M. Wong
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
37.Phase change in microchannel heat sink under forced convection boiling

机译：强制对流沸腾下微通道散热器的相变
- 作者：Linan Jiang;Man Wong;Yitshak Zohar
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
38.MEMS wing technology for a battery-powered ornithopter

机译：MEMS翼型为电池供电的钻孔器
- 作者：T. Nick Pornsin-sirirak;S. W. Lee;H. Nassef;J. Grasmeyer;Y. C. Tai;C. M. Ho;M. Keennon
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
39.DNA analysis based on physical manipulation

机译：基于物理操纵的DNA分析
- 作者：Osamu Kurosawa;Keiichiro Okabe;Masao Washizu
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
40.An electrostatically-actuated MEMS switch for power applications

机译：用于电源应用的静电MEMS开关
- 作者：Jo-Ey Wong;Jeffrey H. Lang;Martin A. Schmidt
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
41.Static friction in elastic adhesive MEMS contacts, models and experiment

机译：弹性粘合剂MEMS触点，模型和实验中的静摩擦
- 作者：N. R. Tas;C. Gui;M. Elwenspoek
- 会议名称：《International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, Annual》 | 2000年
- Static friction;
- Adhesion;
- Contact mechanics;