メタリック不導体成膜用スパッタリング装置

摘要

自動車?民生撥器等に使用される加飾部品は，これまで金rn属装飾として「湿式法クロム（Cr）メッキ」や「真空蒸着rn法アルミ成膜」と「湿式法スプレー塗装」との組み合わせがrn広く用いられてきた．これら部品は「安全性」，「機能性」，rn「意匠性」，「環境面」といった様々な要求が考慮され，従来rn品からの差別化，高機能化が進められている．近年，環境面rnへの配慮からの要求として湿式法メッキプロセスからスパッrnタリング法を用いたドライブロセスへの移行も進み，一部でrnは実用化の段階になっている．