走査プローブ顕微鏡技術の半導体産業での利用

摘要

微細化と新材料導入が同時進行している半導体デバイス開発で，SPMは欠かせない計測技術になっている．特長は，ナノレベルの高い空間分解能が実現できることに加え，形状や寸法測定の他，様々な物性計測にも適用できることである．特に，電気的な特性分布の測定は，SPMの独壇場で半導体分野からの要求も大きいが，目的の物理量を正しく定量測定するためには，まだ計測手法と解析技術の研究開発が必要である．インライン計測を含むSPMの利用範囲の拡大と普及のために，SPM製品の開発と併せて，今後の研究開発に期待するところである．