発熱変動のある垂直平板の温度変化を最小にするモデル予測制御法の検討

摘要

半導体産業やバイオェンジニアリング分野などに実rn用されているナノ技術において非常に高精度な温度制rn御の要望がある．例えば，nmオーダの精度で加工するrn半導体製造装置の例について，寸法100mmの鉄製構造rn物が0.001℃温度変化すると，熱膨張によって1nmのrn寸法変化が生じるため，加工精度向上のため製造プロrnセス時の構造物の温度変動を0.001℃以下にする温度rn管理が要求される．