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机译:一种新颖的两步MOCVD工艺,以乙醇和水的混合物作为添加剂生产薄铜膜
Department of Chemical Engineering, National Taiwan University of Science and Technology, Taipei 10672, Taiwan, ROC;
two-step metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD); cuprous oxide (Cu_2O); copper (Cu); ethyl alcohol and water mixture; metallization;
机译:Cu(hfac)_2中心点H_2O源对铜薄膜的两步MOCVD反应机理
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