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机译:氢原子对碳基纳米颗粒和反应性等离子体薄膜生长的影响
Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagoya University, Nagoya, Japan;
hydrogen atoms; polymerisation process; nanoparticles; thin films; mass spectrometry; raman spectrometry; deposition rate; etching rate;
机译:O原子在氢化非晶碳膜的大气等离子体蚀刻过程中的运输和表面反应性
机译:MgF_2纳米粒子在等离子体聚合物氟碳基透明纳米复合薄膜对表面硬度特性的影响
机译:在ECR等离子体中形成碳纳米粒子/氢化非晶碳复合薄膜
机译:原位等离子体分析,通过等离子体增强化学气相沉积法沉积在Si上的氟化非晶碳和氢化非晶碳薄膜的氟掺入,热稳定性,应力和硬度比较
机译:硅和硅锗薄膜生长的动力学研究:气体表面反应性,锗表面偏析以及原子氢同时发生的影响。
机译:N2:(N2 + CH4)比在低温等离子体增强化学气相沉积法生长疏水纳米结构氢化氮化碳薄膜中的作用研究
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