НАГРЕВ ГАЗА И ПОЛИМЕРНОГО МАТЕРИАЛА В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА

摘要

Рассмотрена модель теплового процесса в плазме высокочастотного емкостного разряда пониженного давления в атмосфере воздуха. Проведен анализ влияния мощности разряда и давления на распределение температуры в разрядном промежутке, в том числе при размещении в нем образца полимерной пленки. Численные расчеты сопоставлены с данными непосредственных измерений температуры газа в разряде и температуры пленки. Приведен пример практического использования методики расчета температурного поля в разряде в процессе плазменного модифицирования поверхности полимеров.