НАНОФОКУСИРОВКА СВЕТА НА ВЕРШИНЕ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО МИКРООСТРИЯ, РАСПОЛОЖЕННОГО ВБЛИЗИ МНОГОСЛОЙНОЙ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ СТРУКТУРЫ: ТЕОРИЯ И ВОЗМОЖНЫЕ ПРИЛОЖЕНИЯ

摘要

Исследуется фокусировка оптической энергии в наноразмерную пространственную область в окрестности нановершины металлического микроострия, возникающая при симметричном схождении к нановершине поверхностной плазмонной волны. Металлическая поверхность острия аппроксимируется параболоидом вращения. Исследуется распределение фокального поля вблизи нановершины при сканировании поверхности многослойной тонкопленочной структуры. Рассматривается численный метод нахождения фокального распределения поля. Обсуждается приложение данного метода к технологиям создания штампов и пресс-форм для ультрафиолетовой нанолитографии.