ТОМОГРАФИЧЕСКИЙ АТОМНО-ЗОНДОВЫЙ АНАЛИЗ МАТЕРИАЛОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРНОГО ИСПАРЕНИЯ

摘要

Продемонстрированы возможности химического анализа материалов с определением положения отдельных атомов различных химических элементов в образце на атомно-зондовом томографе nA3JT-3D с фемтосекундным лазерным испарением, разработанном в НИЦ "Курчатовский институт"- ИТЭФ. Представлены результаты исследований ферритно-мартенситных сталей и сплава алюминия, продемонстрирована характеризация и визуализация особенностей с размерами порядка нескольких нанометров.%Advantages of chemical analysis of materials on atomic scale at the APPLE-3D atom probe tomography with femtosecond laser evaporation developed at the National Research Center "Kurchatov Institute" - ITEP are demonstrated. The results of investigations of ferritic-martensitic steels and aluminum alloy are presented; characterization and visualization of nano-sized features are demonstrated.